利用直流四探針法測量半導(dǎo)體的電阻率 （
直流電阻測試儀）
一,測試原理:
當(dāng)四根金屬探針排成一條直線,并以一定壓力壓在半導(dǎo)體材料上時(shí),在1,4兩根探針間通過電流I,則2,3探針間產(chǎn)生電位差V（如圖所示）.
根據(jù)公式可計(jì)算出材料的電阻率:
其中,C為四探針的探針系數(shù)（cm）,它的大小取決于四根探針的排列方法和針距.
二,儀器操作:
（一）測試前的準(zhǔn)備:
1,將電源插頭插入儀器背面的電源插座,電源開關(guān)置于斷開位置;
2,工作方式開關(guān)置于"短路"位置,電流開關(guān)處于彈出位置;
3,將手動(dòng)測試架的屏蔽線插頭與電氣箱的輸入插座連接好;
4,對測試樣品進(jìn)行一定的處理（如噴沙,清潔等）;
5,調(diào)節(jié)室內(nèi)溫度及濕度使之達(dá)到測試要求.
（二）測試:
首先將電源開關(guān)置于開啟位置,測量選擇開關(guān)置于"短路",出現(xiàn)數(shù)字顯示,通電預(yù)熱半小時(shí).
1,放好樣品,壓下探頭,將測量選擇開關(guān)置于"測量"位置,極性開關(guān)置于開關(guān)上方;
2,選擇適當(dāng)?shù)碾妷毫砍毯碗娏髁砍?數(shù)字顯示基本為"0000",若末位有數(shù)字,可旋轉(zhuǎn)調(diào)零調(diào)節(jié)旋鈕使之顯示為"0000";
3,將工作方式開關(guān)置于"I調(diào)節(jié)",按下電流開關(guān),旋動(dòng)電流調(diào)節(jié)旋鈕,使數(shù)字顯示為"1000",該值為各電流量程的滿量程值;
4,再將極性開關(guān)壓下,使數(shù)顯也為1000±1,退出電流開關(guān),將工作方式開關(guān)置于1或6.28處（探頭間距為1.59mm時(shí)置于1位置,間距為1mm時(shí)置于6.28位置）;
（調(diào)節(jié)電流后,上述步驟在以后的測量中可不必重復(fù);只要調(diào)節(jié)好后,按下電流開關(guān),可由數(shù)顯直接讀出測量值.）
5,若數(shù)顯熄滅,僅剩"1",表示超出該量程電壓值,可將電壓量程開關(guān)撥到更;
6,讀數(shù)后,將極性開關(guān)撥至另一方,可讀出負(fù)極性時(shí)的測量值,將兩次測量值取平均數(shù)即為樣品在該處的電阻率值.
三,注意事項(xiàng):
1,壓下探頭時(shí),壓力要適中,以免損壞探針;
2,由于樣品表面電阻可能分布不均,測量時(shí)應(yīng)對一個(gè)樣品多測幾個(gè)點(diǎn),然后取平均值;
3,樣品的實(shí)際電阻率還與其厚度有關(guān),還需查附錄中的厚度修正系數(shù),進(jìn)行修正.
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更新時(shí)間：2009-05-11 
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